佛山某半导体设备心片研发厂，晶圆加工制作操作过程中会产生含硅、氟的异常废污水，定制正确工作经营规模1200吨/日。废污水组分繁多，含有納米级硅顆粒及盐酸，传统的正确工作工艺很难考核标准。 废水处理工艺因素及起源 核心生态破坏物 ：电解质溶液硅（100-500nm孔径）、氟阴阳离子（200-300mg/L）、异丙醇 来历工艺技术 ：晶圆刻蚀工业废水处理（45%）、CMP电化学机械化抛光处理工业废水处理（40%）、仪器清洁水（15%） 办理生产施工顺序步骤 什么是创新利用"无机化学石雕文化沉淀+特殊膜剥离 "系统路经： 钙盐水解 ：加药系统氯化钙出掉氟阴阳离子（添加CaF2石雕文化沉淀） 斜管沉淀池现象 ：组合斜管沉淀池剂实行溶液硅脱稳 管式微滤 ：0.1μm孔经膜公款私存微细粒子 反渗入操作系统 ：脱盐率>98%，收废率75% 蒸馏心得 ：浓水段确保氟化物零排出 结果是特效 氟化物溶液浓度：<8mg/L（大于国内五级标准规定10mg/L） 硅含碳量：<5mg/L 水资源保护英文回收率：70%应用在冷却水塔补充水分 危险废弃物减轻：化掉残留物量较中国传统施工工艺缩短60%